第五百三十八章 半导体五年战略规划 (第2/3页)
效率从HEUV-300B型号的每小时一百二十片，提升到了HEUV-300C的每小时一百八十片。”
“这将会带来先进工艺芯片的制造成本的整体下降，并进一步提升产能！”
“虽然这款HEUV-300C光刻机的成本更贵，售价也更贵，但是我们认为这款光刻机拥有更高的性价比！”
一旁的智云微电子的丁成军道：“不错，我们智云微电子将会采用这款最新的HEUV-300C光刻机量产等效五纳米工艺的芯片，后续的的等效三纳米工艺的前期生产，也将会使用这一款光刻机！”
“尽管HEUV-300B型号的光刻机，同样能够生产等效五纳米工艺的芯片，但是因为等效五纳米工艺芯片所需要层数更多，使用HEUV-300B光刻机的话，芯片良率不太行，生产效率不太行，成本过于高昂，所以我们已经暂停了使用这款光刻机制造五纳米工艺芯片的计划！”
第一代的HEUV-300B光刻机的每小时生产效率只有一百二十片，对比HEUV-300C的每小时一百八十片差了很多，再加上套刻精度的差距，最后导致用来生产五纳米芯片的话，就有些力不从心。
不是说不行，而是划不来！
丁成军继续道：“我们在建以及规划建设的多家晶圆厂，已经拟定采用这款HEUV-300C光刻机了，这种建造出来的晶圆厂，不仅仅能够用来制造五纳米工艺的芯片，我们也在想办法进行持续的技术升级改进后，让这种光刻机也是能够用来生产等效三纳米工艺的芯片！”
“如此能够让先机半导体工厂的高利润使用寿命更长！”
建设先进半导体工厂，是要考虑到未来的升级潜力，同时也要尽可能的适应更先进的工艺的……毕竟现在的新半导体工厂太贵了。
里头用的各种设备都是清一色的天价！
如HEUV-300C光刻机，这种最新型的EUV光刻机，海湾科技那边的对外供货价达到一点五亿美元一套……贵的很！
而智云微电子规划一座月产五万片的5纳米工艺的晶圆厂，就要使用大概十台这种光刻机……光是这一种光刻机的采购成本，就得十五亿美元！
然后还要搭配若干最新式的DUV浸润式光刻机，也就是海湾科技的HDUV-600E型光刻机，而这种光刻机也不便宜，每台要七千多万美元呢。
这种光刻机在智云微电子里，虽然只是个打下手的光刻机类型，用来辅助EUV光刻机生产先进工艺的芯片!
但是在其他半导体厂商里，这种先进DUV浸润式光刻机可是核心主力光刻机，用来生产10-14纳米工艺节点的先进芯片好用的很。
只是因为价格过于昂贵，所以买得起的厂商其实也不多，现在也就只有智云微电子采购一些，但是量不大。
反倒是稍微落后一些的HDUV-600B比较成熟，价格也相对便宜，现在只需要五千万美元左右一套，所以这款光刻机深受国内半导体厂商的欢迎，卖的很不错。
一年依旧能够有五十多台的销量，乃是海湾科技诸多光刻机型号里的销冠！
然后还要搭配DUV干式光刻机或KRF光刻机，这两种光刻机看似落后了，但其实依旧是顶级工业设备，很贵的……
海湾科技的新式DUV干式光刻机，HDUV-250E型号光刻机，售价每台在两千万美元左右，这种光刻机性能其实都不错，都可以用来生产五十五纳米工艺的芯片，而且生产效率高，性能稳定，维护简单，只不过五十五纳米工艺市场整体已经比较小了，所以出货量不大只有十来台。
辅助光刻机里，KRF光刻机是最受半导体厂商欢迎的，价格便宜，性能也够用……不过KRF光刻机就算便宜，但是也要七八百万美元一套。
而上述这些前道光刻机，只是整个晶圆厂所需要的诸多设备的其中一个类型而已。
然后还有后道光刻机，蚀刻机，例子注入机等……这些半导体关键设备的价格也是动不动就几千万美元的！
其中几百万的设备，那都算是便宜货了！
上述诸多昂贵的设备，再加上高级别的工厂建设费用等等加起来，就导致了先进半导体工厂的投资成本极为夸张。
智云微电子投资一座月产能五万片的五纳米工艺晶圆厂，其投资规模能够达到两百亿美元以上！
豪横如智云集团，也不可能说花费了两百亿美元建设一家采用HEUV-300C光刻机为核心设备的先进晶圆厂，只让它制造七纳米或五纳米工艺的芯片啊……总得想办法让它制造未来的三纳米工艺的芯片，争取提升工厂的高利润寿命期啊。
海湾科技的王道林继续报告道：“今年我们的两种EUV光刻机预计年出货量三十台，等到明年的时候，我们会加大产能，以期出货量能够达到四十台，其中的HEUV-300C光刻机成为出货主力，以满足智云微电子对先进EUV光刻机的庞大需求。”
徐申学翻看了智云微电子的扩充产能计划，微微点头，一年四十台的EUV光刻机出货量，也算是够用了，能够在满足先进工艺的逻辑芯片生产需求的同时，也能够供给部分EUV光刻机用于内存芯片以及闪存芯片的生产了！
智云微电子，可不仅仅是在逻辑芯片领域里采用EUV光刻机，还在内存芯片领域以及闪存芯片领域里都开始采用EUV光刻机呢，对EUV光刻机的需求量是非常大的。
海湾科技那边一年三四十台的EUV光刻机产能，智云微电子一家其实就能给包揽了，只给了国内的其他厂商留下了少量产能。
光靠智云微电子一家，就足以养活海湾科技了。
除了EUV光刻机外，王道林还报告说，海湾科技预计今年还将会出货DUV浸润式光刻机六十台左右，这个级别的光刻机除了智云微电子外，国内其他半导体厂商订购的也非常多，其中的HEUV-600B型号这款成熟，性能可靠，价格也不错的光刻机销量很不错。
DUV干式光刻机的销量比较少，只有十五台。
倒是KRF光刻机作为一种辅助光刻机销量很不错，预计销量预计在七十台左右。
然后还有I线光刻机，预计今年出货量只有四十台，海湾科技在I线光刻机领域里的虽然也做的还行，但是佳能在I线光刻机
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